,在国内有着很大的缺口。诸如无尘室的建设要求,国内的无尘室水平最高也只能达到级,也就是每立方米将小于03微米粒径的微尘数量控制在3500个以下。但是在微电子芯片生产车间里,对无尘室水平的要求却是1级,也就是要将03微米的微尘控制在1000个以下。
国外倒是有成熟的产品可以采购,价格上也不是特别离谱。但是对胡文海来说,连这种外围设备也要依靠进口是无法容忍的。不可能等到了九十年代,美国人搞起了封锁之后,光刻机能拿得出来,但是无尘车间却拿不出来。
这方面的技术纯粹是用进废退,如果新科晶圆厂不搞1000的无尘车间,那到九十年代国内也真的就拿不出来这个产品因为除了晶圆厂,1000级别的无尘室应用范围就太狭窄了,其他的企业和项目更不可能支撑起国内的技术和产业来。
一方面要填补国内空白,另一方面又要追赶晶圆厂的建设进度,无尘车间的建造压力不可谓不大。
只是好在这方面技术不涉及到国内的工业基础跟不上的问题,在设计上和功能上达标即可。唯有对空气中03微米微尘进行过滤的过氯乙烯纤维滤材,国内暂时还无法生产,只能是先从国外进口。不过过氯乙烯的生产国内自己就能搞的定,纤维编织设备的攻克也正在稳步推进。
但即使如此,要让设备的开发跟上晶圆厂的建设进度,仍然不是一件容易的事情。除了相关工作人员废寝忘食加班加点,资金的投入更是如同无底洞一般。
而晶圆厂的生产车间可不只是无尘这一个标准,整个芯片生产蚀刻车间的建造,需要达到的指标简直多如牛毛。诸如震动、静电、温度、湿度、水质、噪音、大气压强,都有着简直堪称苛刻的要求。
光是对生产车间进行装修的材料,国内要从头补课的就有聚氨酯弹性地面、瓷漆、特种瓷砖和特种有机玻璃。
恐怕很少有人知道,只是为了去除空气中的静电,微电子芯片生产车间的玻璃都和普通人家不一样,是特殊的低电阻有机玻璃。聚乙烯体玻璃同样是导电玻璃,但芯片生产车间偏偏不能用聚乙烯体玻璃,只是因为它的电阻在每平方厘米上比特种有机玻璃低了1欧姆而已。
就是为了给生产车间提供空气,从外界摄入的空气首先需要被负离子除尘,然后又要把空气中的静电去除,最后经过过氯乙烯纤维滤材,这才将微尘数量控制在1000级别以内可以说,人类在车间中呼吸的每一口氧气,都是真的要交呼吸税了。
为了赶工期赶进度,国内的相关厂家和研究所是在被电子工业部用鞭子抽着,发挥了300的工作热情才能勉强追赶上了晶圆厂的建设计划。
世界上任何
请收藏:https://m.vvbqg.cc
(温馨提示:请关闭畅读或阅读模式,否则内容无法正常显示)